真空室式涂布装置MBC-V（全自动涂布装置）

对最尖端过程的新提案

最终的服务生礼服解决方案

・在减压下边的高精度的安定的涂布实现：也根据武藏独自的点胶技术在减压环境下边可以安定的涂敷。

・大量事前防止不良：搭载使在FAD5100S培养的UF专门化的两大机能DVM、AFC。经常确切逮捕发生变化过程，事前防止不良发生。

・建议最尖端过程的涂布自动化线：把搬运机器人连接的独立操作计算机，多腔，在线合计各种各样的自动化线，支援。

名称：真空室式涂布装置MBC-V SERIES

型号：MBC-V SERIES

控制方式：PC+PLC

适用工件台：车载基板，电子设备，晶片